雷峰網(wǎng)(公眾號(hào)：雷峰網(wǎng))消息，國產(chǎn)半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備研發(fā)制造企業(yè)上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司宣布圓滿完成近5億元C+輪融資。

這是上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司繼2022年12月C輪融資之后的新一輪融資。

本輪融資獲得君桐資本、金浦創(chuàng)新、上?？苿?chuàng)集團(tuán)、浙江發(fā)展資產(chǎn)、賽富管理、三元資本等知名產(chǎn)業(yè)及投資機(jī)構(gòu)的大力支持，力合資本、長江國弘等多家老股東追投。

據(jù)悉，本輪融資后，陛通半導(dǎo)體將持續(xù)加大技術(shù)和產(chǎn)品研發(fā)投入，積聚更多優(yōu)秀人才，推出更多國產(chǎn)高端薄膜沉積設(shè)備品種，加快產(chǎn)業(yè)化布局。

陛通半導(dǎo)體成立于2008年，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)支持為一體的高端國產(chǎn)半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的高技術(shù)創(chuàng)新企業(yè)。陛通半導(dǎo)體始終強(qiáng)調(diào)持續(xù)創(chuàng)新的產(chǎn)品研發(fā)能力以及與客戶的緊密合作，至今已經(jīng)擁有73項(xiàng)授權(quán)發(fā)明專利，共計(jì)165項(xiàng)其他原創(chuàng)專利，包括國際專利。

目前陛通半導(dǎo)體自研的12吋PECVD、SACVD、磁控濺射PVD、射頻濺射PVD、反應(yīng)離子濺射PVD、Thermal ALD產(chǎn)品已經(jīng)陸續(xù)進(jìn)入國內(nèi)各種類型、各種規(guī)模晶圓廠并成為主力設(shè)備。

同時(shí)，陛通半導(dǎo)體的6-8吋磁控濺射PVD的高產(chǎn)能厚鋁工藝、背金工藝、熱鋁填孔槽工藝被大量應(yīng)用于國內(nèi)化合物半導(dǎo)體SiC、GaN、IGBT、MOSFET等功率芯片制造。

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