中國光刻機(jī)之殤：入華 32 年，ASML 已出貨 700 多臺，但 EUV 出口中國依然受限

本文作者：李帥飛

2020-11-09 23:43

導(dǎo)語：荷蘭向中國出口 EUV 光刻機(jī)，拜登會同意嗎？

中國需要光刻機(jī)，尤其是支持先進(jìn)制程的高端光刻機(jī)。

具體來說，就是 EUV （極紫外光源）光刻機(jī)。

中國光刻機(jī)之殤：入華 32 年，ASML 已出貨 700 多臺，但 EUV 出口中國依然受限

目前，世界上能夠制造 EUV 光刻機(jī)的，只有一家公司，它就是荷蘭光刻機(jī)巨頭 ASML（中文名為阿斯麥）。實(shí)際上，作為一家外企，ASML 進(jìn)入到中國市場已經(jīng)超過 30 年，可以說是淵源深厚。

但是，由于商業(yè)之外的原因，ASML 無法向中國大陸市場出口 EUV 光刻機(jī)，盡管它自己其實(shí)是非常樂意的。

背后的始作俑者，還是美國。

ASML 與中國市場的深厚淵源

中國大陸市場，一直是 ASML 在全球范圍內(nèi)最重要的市場之一。

以 2020 年為例，ASML 在第二季度總共賣出了 61 臺光刻機(jī)（包括新設(shè)備和二手設(shè)備），在第三季度賣出了 60 臺——這其中，有超過 24 臺是賣給了中國大陸。

中國光刻機(jī)之殤：入華 32 年，ASML 已出貨 700 多臺，但 EUV 出口中國依然受限

按照 ASML 全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波的說法，2020 年第二、第三季度，公司發(fā)往中國大陸地區(qū)的光刻機(jī)臺數(shù)超過了全球總臺數(shù)的 20%。

當(dāng)然，這些出售到中國大陸的光刻機(jī)，不包含 EUV 設(shè)備。

對此，沈波表示：

ASML 必須要在遵守法律法規(guī)的前提下進(jìn)行光刻機(jī)出口。但我們對向中國出口光刻機(jī)是保持很開放態(tài)度的，我們對全球客戶都一視同仁，只要是我們能夠提供的技術(shù)和設(shè)備，我們都會全力支持。

可以看到，如果排除外界因素的干擾，ASML 自身是很有誠意與中國合作的。

雷鋒網(wǎng)了解到，ASML 成立于 1984 年；當(dāng)時，市面上尚有多家生產(chǎn)光刻機(jī)的公司，而 ASML 位居最后一名。不過，僅用 2 年時間，ASML 就研制出了型號為 PAS2500 的晶圓步進(jìn)式光刻機(jī)（Stepper），它可以生產(chǎn) VLSI 一代的芯片，這使 ASML 在市場上站穩(wěn)了腳跟，并擁有了一定的名氣。

值得一提的是，早在 1988 年，ASML 在進(jìn)軍亞洲之時，就向中國大陸發(fā)售了最早一臺設(shè)備。

經(jīng)過三十多年的深耕，ASML 在中國大陸已經(jīng)出售 700 多臺光刻機(jī)裝機(jī)，涵蓋了 ASML 公司的（EUV 設(shè)備之外）的絕大部分類型產(chǎn)品。

不僅如此，在 2000 年天津成立分公司的基礎(chǔ)上，ASML 目前在中國設(shè)有 12 個辦公室，11 個倉儲物流中心，2 處技術(shù)開發(fā)中心（深圳和北京，做計算光刻、量測等開發(fā)），擁有 1000 多名員工。

中國光刻機(jī)之殤：入華 32 年，ASML 已出貨 700 多臺，但 EUV 出口中國依然受限

圖自：澎湃新聞

此外，ASML 還在中國專門建設(shè)了 1 個培訓(xùn)中心，培養(yǎng)光刻行業(yè)人才。

正如沈波所言，在遵守法律法規(guī)的同時，ASML 全力支持客戶和中國集成電路行業(yè)的發(fā)展，在每個階段 ASML 和中國集成電路業(yè)界都有著很好的合作。

他還表示，ASML 在中國的整體狀態(tài)越來越好，未來服務(wù)會更多樣化，對中國的投入也會越來越大。

EUV 光刻機(jī)未能出口中國大陸的根本原因

作為全球最大的光刻機(jī)企業(yè)，ASML 獨(dú)自享受著 EUV 光刻機(jī)技術(shù)帶來的商業(yè)發(fā)展便利，但同時也不得不承受大國競爭和沖突下的沉重政治枷鎖。

一個典型的案例，就是 EUV 光刻機(jī)向中國大陸出口受阻。

EUV 光刻機(jī)是光刻機(jī)在發(fā)展過程中的第五代產(chǎn)品，由于采用了極紫外線，它的最小工業(yè)節(jié)點(diǎn)到了 22nm-7nm，可以說是世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)設(shè)備——而這種設(shè)備，只有 ASML 能造出來。

在 EUV 技術(shù)的研發(fā)層面，ASML 也經(jīng)歷了艱苦跋涉的過程。

實(shí)際上 ASML 從 1999 年就開始 EUV 光刻機(jī)的研發(fā)工作，原計劃在 2004 年推出產(chǎn)品，但直到 2010 年才研發(fā)出第一臺 EUV 原型機(jī)，2016 年才實(shí)現(xiàn)下游客戶供貨——甚至到 2019 年，第一款 7nm EUV 工藝的芯片才正走向商用。

不過，在美國主導(dǎo)的《瓦森納協(xié)定》（Wassenaar Arrangement）的影響下，這一高端設(shè)備對中國大陸的出口受到嚴(yán)格限制——一直到 2018 年才發(fā)生轉(zhuǎn)機(jī)。

中國光刻機(jī)之殤：入華 32 年，ASML 已出貨 700 多臺，但 EUV 出口中國依然受限

2018 年 4 月，中芯國際向 ASML 訂購了一臺 EUV 光刻機(jī)，價值 1.2 億美元，預(yù)計 2019 年年初交貨——后來此事被報道后，ASML 回應(yīng)稱，對包括中國客戶在內(nèi)的全球客戶都一視同仁，且向中國出售 EUV 光刻機(jī)并沒有違反《瓦森納協(xié)定》。

當(dāng)時，荷蘭政府的確向 ASML 發(fā)放了出口許可證。

然而，天有不測風(fēng)云，這場交易從一開始就受到阻礙。根據(jù)知情人士的說法，美國立即盯上了這筆交易——接下來的幾個月里，美方官員至少四次與荷蘭官員開會，討論可否直接封殺這筆交易。

但雪上加霜的是，2018 年 12 月 1 日，ASML 元件供應(yīng)商 Prodrive 的一家工廠又發(fā)生重大火災(zāi)，ASML 當(dāng)時公開表示，2019 年年初的出貨預(yù)計將遭遞延。

與此同時，美國政府繼續(xù)就這筆交易進(jìn)行背后運(yùn)作。

2019 年元旦前后，美國國防部官員在荷蘭駐華盛頓大使館向?qū)Ψ接懻摿诉@筆交易的 “安全風(fēng)險”；隨后在 2019 年 6 月，美國國務(wù)卿蓬佩奧訪問荷蘭，再次向荷蘭政府施加壓力，要求停止這筆交易。

值得一提的是，2019 年 6 月 30 日，荷蘭政府向 ASML 頒發(fā)的出口許可證到期。

2019 年 7 月，荷蘭首相 Mark Rutte 訪問美國，美國白宮高級官員向他展示了一份情報報告，內(nèi)容是所謂 “中國獲得光刻機(jī)的可能后果”。據(jù)路透社報道，這次訪問后不久，荷蘭政府決定不再續(xù)簽這份許可證——此后 ASML 未出現(xiàn)在荷蘭外交部數(shù)據(jù)庫的續(xù)簽名單上。

中國光刻機(jī)之殤：入華 32 年，ASML 已出貨 700 多臺，但 EUV 出口中國依然受限